주)엘티에스

| 회사소개 | 제품소개 | 고객지원 | 견적문의

            Spin Coater (LT-SS CSC_ Cover 동시 회전형)

         시스템 특장점

            Stand Alone Type
            Manual Loading & Auto Process
            Square Glass Coating 공정에 적합
            Chemical Dispense용 Swing Arm
            대형 Size Glass 적용 (Max 370mm * 470mm)
            Spin Chuck & Cover 일체형 (동시회전 방식)
            Square Glass의 모서리 Coating불량 개선
            PC, PLC Control & 6" Touch Panel
            고점도 Chemical Coating 가능
            다양한 형태의 Spin Chuck 제작

적용 분야

            학교, 연구소, 기업체 연구 및 제품 생산용
            LCD, Film Divice, Probe Card 공정용
            Glass, Mask, Ceramic 등의 Coating공정

시스템 Specification

   Track System
      - LT-AS Series
      - LT-AS MLC Track
      - LT-AS (Spin Wet System)

   Spin Coater
      - LT-MS Series
      - LT-MS CB
      - LT-MS DC
      - LT-SS SC
      - LT-SS AD
      - LT-SS CB
      - LT-SS CSC

Spin Develop System

Spin Cleaning System

ITEM	LT-SS CSC300	LT-SS CSC800
Substrate Size	200 * 200mm glass / 300mm Wafer	370 * 470mm glass
Spin Motor	AC Servo Motor
Spin Speed	Max 3,000	Max 1,500
Chuck	Aluminum
Dispense Arm	In/Out : Stepping Motor, Up/Down : Cylinder or Motor
Cup (Bowl)	SUS or PP
Chemical Supply	PR Bottle 내장 SUS Tank에 의한 N2가압
Controller / Display	PC or PLC / 15" Monitor or 7" Color touch panel
Option	FFU / 정량토출용 Diaphragm Pump