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            Spin Coater (LT-SS AD Type)

         시스템 특장점

            Table Type (Dispense Arm적용)
            Manual Loading & Auto Process
            PR Auto Dispense, EBR, BSR 기능
            PR, EBR Dispense Scan Arm 설치
            PR, Solvent Auto Dispense기능
            PLC Control & 4" Touch Panel
            저소음,저진동의 메카니즘 구현
            다양한 형태의 Spin Chuck 제작

        적용 분야

            학교, 연구소, 기업체 연구용
            반도체, LED, MEMS, 바이오소자등 개발 연구용



        시스템 Specification