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            Track System (LT-AS SW300)

         시스템 특장점

            300mm Wafer Spin Etching Process
            Auto Loading & Auto Process
            Chemical Dispense용 Swing Arm
            다양한 Unit 구성 가능
               Spin Coater, Developer, Hot Plate, Cool Plate 구성
            300mm Load Port 채용
            PC Control & 15" Touch Monitor
            편리한 User Interface, Scheduler,
            Wafer별 독립 Recipe적용 가능
            Data Logging, Alarm 관리

        적용 분야

            연구소, 기업체 연구. 제품 생산용
            Wafer의 Coating, 현상,에칭공정

        시스템 Specification