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         MPH,MLC Track System (LT-AS MLC Series)

         시스템 특장점

            대면적 세라믹 기판 Process 전용 Track System
            Spin Coating,Develope & Bake System
            Auto Loading & Auto Process
            Chemical Dispense용 Swing Arm
            다양한 Unit 구성 가능
              - Spin Coater, Developer, Hot Plate, Cool Plate 구성
              - Ceramic Transfer Robot 적용
            Ceramic의 Max 3,000rpm의 회전
            PC Control & 15" Touch Monitor
            편리한 User Interface, Scheduler
            Data Logging, Alarm 관리

        적용 분야

            Probe Card 제품 생산용
    

        시스템 Specification